| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]060号 | ||
| 项目名称 | 中山大学微电子科学与技术学院电子束蒸发镀膜仪(带电阻蒸发)采购项目 | ||
| 申购主题 | 电子束蒸发镀膜仪（带电阻蒸发） | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *** |
| 最高限价（元） | 495,000.00 | ||
| 采购开始时间 | 2024-04-29 17:40 | 采购结束时间 | 2024-05-10 09:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 罗老师 | 经办人电话 | 020-84111301 |
| 期望收货时间 | 合同签订后90天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 广东省珠海市香洲区唐家湾中山大学珠海校区公共实验楼A203 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 电子束蒸发镀膜仪（带电阻蒸发） |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | ★设备需具备电子束蒸发镀膜功能与电阻式蒸发镀膜功能，配备双腔室、双真空系统、一套操作系统，投标需提供证明文件或产品彩页。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 2 | 整机系统需具备软硬件互锁保护功能；配备水流检测报警装置；双腔室均配备膜厚控制仪，支持速率0.1-30 埃/s 可调可控，厚度控制1nm-100um；双腔室均需配置观察窗与照明灯。 | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | 电子束蒸发镀膜模块与电阻式蒸发镀膜模块的真空系统配置均不低于：电子束蒸发镀膜模块分子泵抽速≥1200L/S，电阻式蒸发镀膜模块分子泵抽速≥600L/S，机械泵抽速≥9L/S，真空极限优于1.0×10-6Pa，漏率优于5×10－8Pa*L/S，关机12 小时后，真空度≤10Pa；抽气时间：大气压~8*10-4Pa小于30min；真空计检测范围至少覆盖大气到1E-5Pa。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | 电子束蒸发镀膜模块部分：内腔尺寸≥长400×宽400×高500mm，电子枪阳极电压≥8KV，≥4工位水冷电子枪，电子枪功率6-10KW可调，支持二维扫描调节，最大扫描不低于±15mm（X，Y），可放置4英寸样品，支持电子枪偏转功能。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | 电子束蒸发镀膜模块部分：配置可调角度电动控制蒸发挡板，具备高压灭弧自动复位功能，支持基片台旋转与升降。 | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 电阻式蒸发镀膜模块部分：内腔尺寸≥长400×宽400×高400mm，配置≥2组舟式蒸发源，蒸发电源功率≥2KW，加热温度≥1400℃；配置≥2组有机束源蒸发源，配置≥2套有机电源，加热温度≥600℃。；配置温控仪，具有温度显示功能，可放置4英寸样品；配置可调角度电动控制蒸发挡板，支持基片台旋转与升降，有机蒸发源和舟式蒸发源之间配备高阻隔挡板，确保有机蒸发源和舟式蒸发源不相互污染。 | 重要 | 否 | 否 |
| 7 | 电阻式蒸发镀膜需保证4英寸样品上Ag的镀膜均匀性优于±5%；电子束蒸发镀膜需保证4英寸样品上Au、SiO2的镀膜均匀性优于±5%。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 8 | 配置清单：包括但不限于设备主机一套，满足设备正常运行的水冷机（流量15-20升/分钟，15到25摄氏度）与空压机（出气压力0.55-0.6MPA），配置不少于一套蒸发舟（10个）、石英坩埚（10个）、电子束坩埚（6个）和晶振片（1盒），配置不少于两套制0.1mm精度的掩膜板，掩膜板需适配1*1cm、1*2cm的样品。 | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 售后服务与培训要求：1.供应商须在发货前协助采购人用户完成安装条件的准备工作；2.收到采购人用户安装条件就绪的通知后，供应商方需委派安装工程师在3天内到安装现场进行设备的安装和调试；3.保修期内如用户在设备使用过程中出现故障，供应商须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，供应商须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好；4.每年至少提供一次上门检修服务； 5.质量保证期内中标（成交）供应商对所供货物实行包修、包换、包退、包维护保养，保修期后设备维修配件更换只收取成本费用；6.设备安装完成后，由专业应用技术工程师进行产品使用的培训工作，培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、故障处理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容，直到至少2名操作人员能够熟练使用设备为止。 | 重要 | 否 | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 |
上传营业执照(副本原件扫描件) |
是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） |
是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 |
填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） |
是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） |
是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合同履约 |
该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://www.wisdombidding.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用；（2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。（3）投标设备需提供原厂保修服务。 |
是 |
| 2 | 免费保修年限 |
2年，提供原厂服务承诺文件。时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。保修范围：设备主机、水冷机、空压机等所有部件。 3年 4年 5年及以上 |
是 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） |
厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 |
是 |
